ISO 14644-16:2019《洁净室及相关受控环境——第16部分：洁净室和隔离设备的能效》简介
摘要：国际标准化组织(ISO)于2019年5月发布了ISO 14644-16第1版，针对洁净室及隔离设备的节能提出指导和建议，给出了与洁净室节能相关的术语和评价指标，汇总了洁净室节能的各个环节。本文简单介绍了该标准的内容，分析了洁净室节能的各项技术措施。
关键词：ISO 14644-16简介洁净室节能措施
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