论集成电路厂房工艺排风的本地处理
摘要：在集成电路厂房产品制造过程中会产生有毒有害的工艺废气。由于制造工艺复杂, 使用的气体与化学品种类多样, 仅使用集中废气处理设备无法高效地去除废气中的各种有害成分。结合工程实例, 介绍了集成电路厂房工艺排风本地处理设备的作用、分类、工作原理与选用。采样分析结果表明, 设备运行稳定, 废气去除效率均高于90%。
关键词：集成电路 工艺排风 本地处理设备 集中处理 洗涤塔
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