有关《按粒子浓度划分的空气洁净度等级》国际新标准的一些问题

作者:涂有 涂光备 王炎财 周薛峰
单位:天津仁爱学院 天津大学 净微(苏州)有限公司
摘要:《按粒子浓度划分的空气洁净度等级》是ISO 14644《洁净室及相关受控环境》系列标准的源头,该项标准自颁布以来,得到国际科技界广泛认同与采纳。国内通行的洁净室及相关受控环境的各项标准,都是直接或间接根据其基本原则制定的。目前国内正处于参照近年颁发的该项标准修订版进行相应标准修订的阶段。针对该项标准修订版中关于采样点数的确定方法,以及国内对该项标准修订版中某些问题的不当理解进行了讨论。
关键词:洁净室及相关受控环境 空气洁净度等级 关注粒径 采样点数 级别限值
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